)، از اهمیت فزاینده ای در فرایندهای حساس و اتاق های تمیز در بیمارستان ها، داروسازی ها، صنایع حساس مکانیکی،‌ میکروالکترونیکی و اپتیکی برخوردار است.
امروزه در طراحی اتاق های تمیز از فیلترهای هپا و اولپا استفاده می شود که در از بین بردن ذرات معلق به میزان کاملا قابل قبولی کارا هستند.

منابع تولید گازهای آلاینده بسیار متنوع و پیچیده هستند:
در محیط های داخلی نیز علاوه بر مواد شیمیایی که از سطوح (دیوارهای رنگ شده، کفپوش ها، MDF و …) متصاعد می شود، بخارات ناشی از مواد شیمیایی مورد استفاده در فرایندهایی مثل لیتوگرافی یا اسید شویی، منابع اصلی آلودگی مولکولی هوا هستند.
هوای تمیز هم در مناطق شهری و هم در مناطق روستایی آلوده به انواع هیدروکربن ها و اسیدهایی است که از طریق تولیدات کارخانه ها و ترافیک های شهری وارد هوا می شوند.
تجمع آمونیاک به دلیل فعالیتهای کشاورزی و دامداری، به ویژه در مناطق روستایی از منابع مهم تولید گازهای آلاینده می باشد.